说明:以下为按原厂规格书与二次配管通用工法还原的典型接续工位,非具名客户案例,口径、壁厚、长度可按洁净室图纸定制。
无尘室送排风系统的失效,八成不出在主管,而出在设备口到支管之间那段过渡软接。这段管路要同时接住三件事:
介质侧——显影、湿法清洗、蚀刻排气里的酸碱雾、溶剂蒸气、轻氟酸组分
力学侧——设备移位、维护拆接带来的反复伸缩与弯折
洁净侧——内壁不能给微粒留台阶与死角,粒子扫描不能扫出接口峰
下面五个工位,是把原厂参数逐条翻译成现场动作的结果。
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项
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选型结果
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料号
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PP钢丝伸缩软管 LKE760
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口径
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Ø75–Ø150 mm(对应订购代码 LKE-760-075 ~ 150)
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壁厚
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0.5 mm(纯送风、无负压)
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颜色
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米白(便于目检挂尘)
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长度
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5 m 标长,现场压至约 2 m 定位
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关键点:钢丝间距 20 mm 决定了弯折不死褶;留预压量则给热胀冷缩留呼吸位。
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项
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选型结果
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口径
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Ø100–Ø125 mm
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壁厚
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0.9 mm(负压段,≥ -0.02 MPa)
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允许负压(20℃)
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Ø100 约 0.007 MPa / 132 mmHg;Ø125 约 0.011 MPa / 82 mmHg
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接续方式
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两端做"软接 + 一段硬管过渡"
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注意:轻氟酸对应低浓度 HF 体系,连续耐温 60 ℃(峰值 80 ℃)内可长期运行;浓氢氟酸体系需另行书面确认介质浓度。
F-ACB 蓝黑色 · Ø100 mm,曝光 / 暗房 / 光罩适用。
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项
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选型结果
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料号
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LKE-760-100(F-ACB 蓝黑款)
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外径
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Ø110 mm,弯曲半径 75 mm,参考重量 0.35 kg/m
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长度
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按窗位截 1.2–1.5 m,压缩态固定
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遮光逻辑
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本体蓝黑色,不外包遮光胶带
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旧做法(PVC 硬管)
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新做法(PP钢丝伸缩软管 LKE760)
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连接
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裁硬管 + 2 法兰 + 变径
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拉一段伸缩定位
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可调性
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固定,改一次重做
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同直线任意调长,5 m ↔ 1.5 m
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停机
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约 2 h
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约 20 min
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更换频率
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半年(酸碱脆化)
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按年计(耐折叠 ≥ 10⁵ 次)
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项
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选型结果
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壁厚
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0.9 mm(往复运动段取上限)
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吊挂
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抗张强度 40–60 kg,跨度内不自塌
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附加用途
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套在机械臂关节外做伸缩保护套管,不只送风
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工位
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料号
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口径
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壁厚
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关键约定
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FFU 回风软接
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LKE760 米白
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Ø75–150
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0.5
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预压至 2 m
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湿法清洗排风
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LKE760
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Ø100–125
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0.9
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软接+硬管过渡
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曝光/暗房/光罩
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F-ACB 蓝黑
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Ø100
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0.5/0.9
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不外包遮光层
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PCB 二次配管
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LKE760 米白
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Ø75–150
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按负压定
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伸缩补偿位移
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移动除尘臂
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LKE760
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Ø50–100
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0.9
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两极限位留余长
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本文为 PP钢丝伸缩软管 LKE760 无尘室典型接续工位技术还原,规格数据以最新版规格书为准;口径、壁厚、颜色、长度可按洁净室图纸定制。